地埋式污水處理設備采用的主體工藝以A/O(厭氧-好氧活性污泥法)工藝為主。隨著污水處理要求的不斷提高與多元化需求，MBR(膜生物反應器)工藝、SBR(序批式活性污泥法)工藝也作為主體工藝運用到一體化污水處理設備中。由于采用其他工藝作為主體工藝的一體化污水處理設備效率較低或應用不廣等原因，故筆者不予以分析比較。 地埋式污水處理設備幾種工藝的特點對比：
1、用A/O工藝作為主體工藝的一體化污水處理設備具備降低有機污染物和除磷脫氮的功能，也不存在污泥膨脹問題，運行管理較簡便。由于填料的比表面積大，池內的充氧條件良好，生物接觸氧化池內單位容積的生物固體量高，再加上污泥回流，反應池內活性污泥濃度較高，因此兼有活性污泥法的特點，具有較高的容積負荷。由于生物固體量多，當有機容積負荷較高時，其F/M比可以保持在一定水平，因此，污泥產量可相當于或低于活性污泥法。該工藝操作簡單，運轉費用低，處理效果好，運行穩定，是目前較為成熟的生活污水處理工藝，能有效地確保污水達標排放。
2、MBR處理工藝對水質的適應性好，耐沖擊負荷性能好，出水水質優良、穩定，不會產生污泥膨脹;池中采用新型彈性立體填料，比表面積大，微生物易掛膜，脫膜，在同樣有機物負荷條件下，對有機物去除率高，能提高空氣中的氧在水中溶解度;工藝簡單，不必單獨設立沉淀、過濾等固液分離池，占地面積少，水力停留時間大大縮短;污泥排放量少，只有傳統工藝的30%，污泥處理費用低，但一次性投資較高。
3、用SBR法作為主體工藝具有工藝流程簡單，構筑物少的特點。該工藝不需設置污泥回流設施，不設二沉池，曝氣池容積也小于傳統連續式活性污泥法，易產生污泥膨脹的現象。通過調節運行，不僅去除COD，而且可以有效地脫氮除磷。該工藝對水質水量變化適應性強，出水水質較穩定，適合間歇排放的污水，可由PLC自動控制系統靈活控制運行工序。但SBR法屬于間歇式活性污泥法，排水時間短，且排水時要求不攪動沉淀污泥層，因而需要專門的排水設備(潷水器)，且對潷水器的要求較高。上述原因導致采用該工藝作為主體工藝的一體化設備處理效率不高。運行費用低。
